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產品知識

氟硅酸鈣制備四氟化硅的方法

來源:國晶化工 日期:2019-07-26 15:25:12

氟硅酸鈣制備四氟化硅的方法

用氟硅酸鈣制備四氟化硅的方法:

技術領域:

本發明涉及一種制備四氟化硅的方法,尤其是涉及一種以水合氟硅酸鈣為原料制備四氟化硅的方法。

背景技術:

四氟化硅,分子式為SiF4,在電子和半導體行業中應用廣泛。主要用于氮化硅、硅化鉬等的蝕刻劑、P型摻雜劑、外延沉積擴散硅源等,還可用于制備電子級硅烷或硅。四氟化硅還可用作光導纖維用高純石英玻璃的原料,其在高溫火焰中水解可產生具有高比表面積的熱沉二氧化硅。此外,四氟化硅還廣泛用于制備太陽能電池,氟硅酸和氟化鋁,化學分析用氟化劑,油井鉆探、鎂合金澆鑄用催化劑、蒸熏劑、水泥和人造大理石的硬化劑以及有機硅化合物的合成材料等方面。

現有的四氟化硅的制備方法主要有硫酸法、氟硅酸法、氫氟酸法、氟硅酸鈉法。硫酸法采用硫酸、螢石、二氧化硅高溫反應,腐蝕嚴重、能耗高,生產的四氟化硅氣體中易含硅氧烷等雜質,在精制四氟化硅過程中不易除去,同時還副產含氟廢渣;氟硅酸法由氟硅酸和濃硫酸反應而得,使用硫酸對設備腐蝕嚴重,還副產含氟廢液;中國發明專利名稱為一種四氟化硅的制備方法(公開號為CN101481113),公開了用氟硅酸與氧化鎂反應10-60分鐘,再在25-55°C下氣鼓動1-3小時,最后在200-300°C下煅燒1_2小時得到四氟化硅,減輕了對設備的腐蝕,但是該方法中氧化鎂較稀缺,較貴,用氧化鎂制備四氟化硅成本較高,且四氟化硅收率相對較低。

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